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芯源微发布2023 半年报，收入7 亿元，同比+38%；扣非归母净利润1.36 亿元，同比+96%，前道Track 持续工艺迭代，前道物理清洗机市占率逐步提升，维持“增持”投资评级。

23H1 收入和利润同比稳健增长，23Q2 收入环比高增长。1）23H1：收入6.96亿元，同比+38%；归母净利润1.36 亿元，同比+95.5%；扣非净利润1.04亿元，同比+57.7%；2）23Q2：收入4.07 亿元，同比+27%/环比+41.3%；毛利率42.1%，同比+1.2pcts/环比-3.2pcts；归母净利润0.7 亿元，同比+88%/环比+5.6%；扣非净利润0.47 亿元，同比+35%/环比-18.4%；扣非净利率11.4%，同比+0.7pct/环比-8.4pcts。

前道Track 实现28nm 及以上工艺全覆盖，并持续工艺迭代。第三代浸没式机台FT-300 去年12 月发布，目前客户端导入进展良好，全面向下兼容ArF、KrF、I-Line、offline 等工艺；高端offline 设备进展顺利，超高温Barc 设备实现客户重复订单；用于碳旋涂类的SoC 设备实现客户端导入。

前道物理清洗机市占率逐步提升，后道先进封装设备持续获得重复订单。公司前道物理清洗机覆盖中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔等客户，国内市占率稳步提升；后道先进封装设备持续收到重复订单，国内封测厂目前处于周期性产能消化阶段，但23Q2 国内先进封测厂商稼动率已出现回暖迹象；小尺寸领域由于LED、射频库存和需求影响整体需求下滑。

投资建议。公司23H1 收入和利润同比稳健增长，前道Track 工艺持续迭代，前道物理清洗机市占率稳步提升。我们预计公司2023/2024/2025 年收入为18.8/24.1/29.4 亿元，对应PS 为9.5、7.4、6.0 倍，预计2023/2024/2025年归母净利润为2.7/3.6/4.8 亿元，对应PE 为65.8/49.1/37.3 倍。由于公司2023/2024/2025 年股权支付费用预计为0.25、0.53、0.26 亿元，因此经营性净利润预计为2.96/4.16/5.04 亿元，维持“增持”投资评级。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，美国半导体设备出口管制加剧，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。

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